首先是真空系統(tǒng)工藝過程中產(chǎn)生的氣體。它包括工藝過程中材料放出的氣體以及工藝需要而引入的氣體，同時(shí)真空系統(tǒng)中液體或固體蒸發(fā)的氣體也包含其中。不同的工藝過程以及不同的被處理材料，這部分氣體的量的計(jì)算都是不同的。

第二，真空系統(tǒng)內(nèi)原本存在的大氣氣體。真空系統(tǒng)中真空容器室、真空管路等，這些原本就含有一定量的大氣氣體成分，在抽氣初期，它們是真空系統(tǒng)抽氣的主要?dú)怏w負(fù)荷，也是被系統(tǒng)早抽走的。

第三是真空系統(tǒng)中的泄漏氣體。泄漏氣體包括大氣通過真空密封的連接處以及各種漏隙通道泄漏進(jìn)入真空系統(tǒng)內(nèi)部的氣體。對于確定的真空系統(tǒng)來說，泄漏的氣體量是一個常數(shù)。不同的真空系統(tǒng)應(yīng)用、不同的極限壓力，對泄漏氣體的量也有嚴(yán)格的限制。

第四，真空系統(tǒng)中各種材料表面解吸釋放出來的氣體。常壓下，真空系統(tǒng)中的材料表面會吸附、溶解部分氣體。在負(fù)壓狀態(tài)下，這部分氣體會被重新釋放出來。它的放氣流量與材料性能、處理工藝以及材料表面狀態(tài)有關(guān)。

第五，真空系統(tǒng)外大氣通過器壁材料滲透到系統(tǒng)內(nèi)的氣體。氣體在固體中也會發(fā)生溶解、滲透。因此大氣通過容器壁結(jié)構(gòu)材料會向真空系統(tǒng)內(nèi)滲透部分氣體。這種滲透在一般的金屬系統(tǒng)下可以不考慮，但部分應(yīng)用在玻璃真空系統(tǒng)或薄壁金屬系統(tǒng)會需要考慮滲透氣體帶來的影響。

以上5個方面就構(gòu)成了真空系統(tǒng)的總的抽氣負(fù)荷。